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智能天车系统助力晶圆"智"造
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智能天车系统：推动晶圆制造迈向智能化
半导体制造业的皇冠明珠——晶圆制造，早已在上世纪90年代实现了"黑灯工厂"的生产模式。这一成就离不开以天车（OHT）为核心的自动物料搬运系统（AMHS）。作为贯穿整个半导体制造流程的关键系统，AMHS堪称产业的血液。
长期以来，全球AMHS市场主要由日本企业主导，占据超过90%的市场份额。这种垄断格局在2023年出现了变化——日本将天车关键零部件纳入出口管制清单，这一举措凸显了发展本土AMHS技术的重要性与紧迫性。
位于上海临港的弥费科技展示厅内，一条长达2公里的高低起伏轨道引人注目。在这条轨道上，数十辆小车如灵活的小机器人般穿梭自如，精准完成晶圆盒的操作动作。整个系统巧妙地安装在展厅顶部，展现出独特的视觉效果。
作为国内领先的AMHS解决方案提供商，弥费科技致力于推动晶圆制造的智能化进程。其自主研发的"SkySAIL"天车系统融合了多项创新技术，在性能和可靠性方面达到国际领先水平。
公司成立至今已累计获得授权专利100余项，主持起草了《半导体天车传送系统通用技术要求》等团体标准。在国际化方面，已在海外布局专利60余项，并通过20余项国际认证。
市场表现方面，公司在细分领域展现出强大的竞争力。国内市场占有率超过70%，并已成功实现12英寸晶圆厂整线交付的突破。公司计划未来三年内进入全球前三甲的发展目标。
面对第三代半导体和先进封装领域的旺盛需求，结合传送、存储、净化设备及智能调度软件的全栈技术优势，弥费科技正在迎来快速增长期。
展望未来，随着12英寸晶圆产能扩张和工厂自动化水平提升，AMHS市场将保持稳定增长。预计到2025年，全球市场规模将达到37亿美元，中国市场规模也将突破11亿美元。
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